Der Begriff Mikroarchitektur bezeichnet die konkrete, prozessorinterne Realisierung einer CPU mit vorgegebener Befehlssatzarchitektur. Er bezieht sich ausdrücklich nicht auf die fertigungstechnische Realisierung einer CPU, sondern auf die internen Abläufe bei der Verarbeitung von Befehlen auf Register-Transfer-Ebene oder auf logischer Ebene. So ist beispielsweise die superskalare Implementierung einer CPU nur eine Art der Realisierung ihrer Mikroarchitektur, wohingegen Begriffe wie VLIW und EPIC verschiedene Paradigmen beim Entwurf einer Befehlssatzarchitektur bezeichnen.

Der Begriff Mikroarchitektur bezeichnet die konkrete, prozessorinterne Realisierung einer CPU mit vorgegebener Befehlssatzarchitektur. Er bezieht sich ausdrücklich nicht auf die fertigungstechnische Realisierung einer CPU, sondern auf die internen Abläufe bei der Verarbeitung von Befehlen auf Register-Transfer-Ebene oder auf logischer Ebene. So ist beispielsweise die superskalare Implementierung einer CPU nur eine Art der Realisierung ihrer Mikroarchitektur, wohingegen Begriffe wie VLIW und EPIC verschiedene Paradigmen beim Entwurf einer Befehlssatzarchitektur bezeichnen.